光刻机作为芯片工业的中心配备，有人称它为“人类最精细杂乱的机器”，一起也被称为半导体工业皇冠上的明珠。光刻的最大的作用是将掩模版上的芯片电路图转移到硅片上，是芯片制作的中心环节。光刻工艺界说了半导体器材的尺度，光刻的工艺水平直接决议芯片的制程和功能水平。
光刻机依照有无掩模可分为有掩模光刻机和无掩模光刻机。这两类光刻机别离有不同的品种：无掩模光刻机分为电子束直写光刻机、激光直写光刻机、离子束直写光刻机，有掩模光刻机分为挨近/触摸式光刻机以及投影光刻机。
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