（OCD）与国内仅有12寸全主动电子束晶圆缺点复查设备（Review SEM）顺畅出机。
上海精测半导体介绍，12寸独立式光学线宽丈量机台(OCD)是该类型的国内首台机台，大多数都用在45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测，并能够延伸支撑上述先进工艺节点的快速线宽丈量。EPROFILE 300FD丈量体系具有彻底自主知识产权，包含宽谱全穆勒椭偏测头、对焦对位体系、体系软件等中心零部件均为自主研制，是真实意义上的高端国产化机台。
配套EPROFILE 300FD，上海精测还一起发布了新一代电磁场仿真建模东西J_ProfilerTM V3.0; 该款软件答应用户在数百核的高速建模运算服务器上进行OCD建模与库匹配，能够在获取杂乱三维纳米结构光谱改变信息后，实时高速的关于纳米结构的各个维度准确值进行核算。
据介绍，12寸全主动电子束晶圆缺点复查设备（Review SEM）是上海精测半导体的另一项主力产品。公司从底层开发做起，扫描电子显微镜、配套扫描成像电路等要害中心部件均为自主规划，自主知识产权，并用了近两年的时刻打通了电子显微镜中心零部件加工的国产化供应链。此次出厂的机台装备了根据深度学习的高准确率智能化主动缺点查验测验与分类算法，将进一步协助客户提高缺点复查剖析的功率并明显提高设备运用的快捷性。
另据精测电子（300567.SZ）7月13日发布的投资者联络活动记载表显现，上海精测半导体本次出机的上述两款产品，客户为中芯世界。
精测电子一起表明，半导体研制投入巨大，验证周期长，公司估计2021年在半导体的部分产品线完成扭亏，但全体半导体事务完成盈余仍需求更多时刻和尽力。
股价方面，本周前两个交易日精测电子股价呈现盘整走势，周二盘中一度创出上一年8月以来新高。此外，该股上星期五曾呈现20%涨停。
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